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美國(guó)Setra 真空電容式壓力計(jì)美國(guó)西特730

美國(guó)Setra 真空電容式壓力計(jì)美國(guó)西特730

所屬分類：美國(guó)西特
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時(shí)間：2018-3-23 16:41:48
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Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場(chǎng)中測(cè)量對(duì)過(guò)程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達(dá)±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全I(xiàn)nconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測(cè)量設(shè)計(jì)，它能精確測(cè)量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過(guò)程中的理想選擇。

Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對(duì)半導(dǎo)體和工業(yè)真空過(guò)程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保730型在這類應(yīng)用中的長(zhǎng)使用壽命。

直接壓力測(cè)量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測(cè)量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計(jì)不同，730型測(cè)量直接壓力， 不受被測(cè)混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測(cè)量型壓力計(jì)。

應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器

·真空包裝


規(guī)格

         性能參數(shù)

物理參數(shù)

電氣參數(shù)(電壓)

精度1

±0.5%讀數(shù)

±0.25%讀數(shù)(可選)

壓力接口

參見(jiàn)訂購(gòu)信息

激勵(lì)輸出4

12-30VDC/0-10VDC

9-30VDC/0-5VDC

響應(yīng)時(shí)間

﹤20MS

接液材料

Lnconel@

電流消耗

﹤10mA(最大值)

分辨率

無(wú)限，僅受輸出噪聲的

限制(≤0.005%FS)

電氣連接

5針螺釘端子、9針D-Sub或15

針D-Sub接頭(位于6*尾纖上)

輸出負(fù)載

﹥10KΩ

溫度影響2

殼體

不銹鋼

輸出阻抗

﹤1Ω

補(bǔ)償范圍

0～+50℃

腔室體積

﹤6.0cc

電路

3線制

零點(diǎn)漂移

0.25%FS/50℃

重量(近似值)

﹤250g

壓力介質(zhì)

量程漂移

1.35%讀數(shù)/50℃

環(huán)境參數(shù)

與lnoonel@兼容的氣體或液體。lnoonel@接液材料僅適用于0.5*管道選項(xiàng)。其他接頭選項(xiàng)會(huì)添加不銹鋼。

長(zhǎng)期溫度性3

0.5%FS/1年,不受環(huán)境條件影響

溫度

工作溫度

0至+80℃

認(rèn)證

1.包括非線性、非重復(fù)性盒遲滯        3.在80℃下運(yùn)行時(shí),滿量程范圍小于100Torr

2.產(chǎn)品在66℉進(jìn)行標(biāo)定,最大溫          時(shí)為±1.0%FS/年

度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來(lái)          4.采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定?？稍谪?fù)載≥5KΩ時(shí)工作

CE.RoHS